无尘车间的总体规划非常广泛，所以需要建筑、水电、空调、环保、防震、制造等方面的专家共同规划。虽然洁净室的计划大多在现有的建筑中，为了避免错误，重要的是要尽可能提前确认以下几点。1. 清洁水平。2. 腔室压力平衡的对策。3.温度、湿度要求。4. 机械设备的必要性。5. 确定生产工艺。6. 局部排气的必要性。

7. 在未来增加灵活性。8. 确保有足够的维护空间。9. 空调送风方式。10. 安排员工休息区。11. 设施和电源配置。12. 室内净空高度和地面负荷。13. 设备空间和管道之间。14. 门窗少，气密性好。15. 静电、振动、噪声。16. 生产线和现役生产线之间几乎没有交叉。17. 危害、污染和防灾。18. 安装和运行成本的测量。